Kon Rasuk Ion

Kon Rasuk Ion SIKAIDA adalah komponen teras implantasi rasuk ion dan sistem penghantaran. Diperbuat daripada bahan seramik termaju ketulenan tinggi dan diproses melalui pengacuan suntikan ketepatan dan pensinteran suhu tinggi, ia menampilkan kandungan kekotoran yang sangat rendah, rintangan suhu tinggi dan ketepatan dimensi yang stabil. Ia boleh dimesin menjadi geometri kompleks untuk memenuhi keperluan toleransi yang sangat tinggi, menjadikannya sesuai untuk proses implantasi ion semikonduktor berprestasi tinggi.

Sebagai pengilang profesional di China, SIKAIDA menyediakan kon pancaran ion yang boleh dipercayai, kos efektif dan boleh disesuaikan kepada pelanggan di seluruh dunia dalam semikonduktor, paparan panel rata, optik, sistem mikroelektromekanikal (MEMS) dan medan tenaga suria. SIKAIDA ialah pembekal jangka panjang yang dipercayai dan kilang pembuatan khusus untuk komponen proses rasuk ion mewah.

Bahan dan Pembuatan

1. Bahan

Kon Rasuk Ion menggunakan bahan termasuk alumina (Al₂O₃) dengan ketulenan ≥99.9%, silikon nitrida (Si₃N₄) dengan ketulenan ≥99.5%, zirkonium oksida (ZrO₂) dengan ketulenan ≥9.99.8%, dan silika bercantum Semua bahan memenuhi piawaian ketulenan ketat industri semikonduktor dan sesuai untuk keperluan prestasi pelbagai aplikasi.

2. Proses Pengilangan

Proses pembuatan merangkumi pengacuan suntikan ketepatan, pensinteran suhu tinggi, pemesinan ketepatan CNC, penggilapan tahap cermin, dan pembersihan dan ujian automatik. Setiap proses dikawal ketat untuk ketepatan dan kualiti untuk memastikan produk akhir memenuhi piawaian industri dan keperluan pelanggan.

Parameter Produk Utama

1. Ketepatan Dimensi

Kon Rasuk Ion mempunyai toleransi yang dikawal dalam ±0.05mm, kekasaran permukaan Ra≤0.4μm, ketepatan tirus lubang dalaman ±0.02mm, sepaksi ≤0.03mm, dan keserenjangan ≤0.02mm. Ketepatan dimensi yang sangat tinggi ini dengan berkesan memastikan ketepatan penghantaran pancaran ion.

2. Rawatan Permukaan

Rawatan permukaan termasuk penggilap mekanikal untuk kemasan cermin, salutan yang diawetkan UV untuk meningkatkan sifat permukaan, salutan kalis calar untuk meningkatkan rintangan haus, dan penjerukan asid dan pempasifan untuk membuang kekotoran dan meningkatkan kestabilan. Kaedah rawatan yang sesuai boleh dipilih berdasarkan keperluan permohonan.

3. Penunjuk Prestasi

Kon Rasuk Ion beroperasi dalam julat suhu -196℃ hingga +800℃, memastikan operasi yang stabil dalam persekitaran suhu yang melampau. Mereka mempunyai kerintangan isipadu ≥10¹⁴Ω·cm dan kerintangan permukaan ≥10¹²Ω, mempamerkan sifat penebat yang sangat baik. Mereka juga mempunyai ketahanan yang luar biasa terhadap plasma dan kakisan kimia, membolehkan mereka menyesuaikan diri dengan persekitaran proses yang kompleks.

Kelebihan Teras

1. Ketulenan Sangat Tinggi: Ketulenan bahan mentah melebihi 99.9%, meminimumkan pencemaran wafer semikonduktor, memastikan prestasi elektrik peranti yang stabil, dan memenuhi keperluan ketulenan yang ketat bagi pembuatan semikonduktor.

2. Ketepatan Geometri Amat Tinggi: Memastikan dimensi produk yang konsisten semasa pengeluaran besar-besaran, dengan ralat tirus dikawal dalam ±0.05mm dan ralat kebulatan ≤0.02mm, tepat padan dengan keperluan pemasangan dan penggunaan sistem penghantaran rasuk ion.

3. Kualiti Permukaan seperti cermin: Kekasaran permukaan Ra≤0.4μm, mengurangkan penyebaran pancaran ion secara berkesan, meningkatkan keseragaman penghantaran pancaran ion, dan seterusnya mengoptimumkan ketepatan implantasi peranti semikonduktor.

4. Kestabilan Julat Suhu Luas: Beroperasi secara stabil dalam persekitaran kriogenik dalam hingga suhu tinggi. Bahan ini mempunyai pekali pengembangan terma yang sangat rendah, mengekalkan kestabilan dimensi yang sangat baik walaupun dengan perubahan suhu, menghalang kesan prestasi daripada turun naik suhu.

5. Penebat dan Rintangan Kakisan Cemerlang: Berkesan menghalang pengumpulan cas semasa penghantaran pancaran ion dan menahan asid kuat, alkali kuat, dan pelbagai kakisan plasma, memastikan operasi stabil jangka panjang dalam persekitaran proses yang kompleks.

Perkhidmatan Tersuai

Model dan saiz produk boleh disesuaikan mengikut keperluan proses yang berbeza. Format lukisan yang disokong termasuk STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF dan sampel fizikal. Mengenai masa penghantaran, penghantaran sampel adalah 4-7 minggu, dan penghantaran produk kelompok adalah 8-12 minggu. Sistem kualiti kami mematuhi piawaian ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH dan SEMI, secara menyeluruh memastikan kualiti produk dan kecekapan penghantaran.

Kawasan Permohonan

Kon Rasuk Ion digunakan secara meluas dalam pelbagai bidang, termasuk implan ion dalam pembuatan semikonduktor, peralatan pemprosesan dalam paparan panel rata, pemendapan rasuk ion (IBD) dan sistem etsa rasuk ion (IBE) dalam pembuatan peranti optik, pembuatan sistem mikroelektromekanikal (MEMS), peralatan doping ion untuk sel suria, dan proses implantasi ion untuk pemendapan kuasa semikonduktor (BTI) dan kuasa MOSFET.

Soalan Lazim:

S1: Apakah bahan yang biasanya digunakan dalam Kon Rasuk Ion?

A1: Kami terutamanya menggunakan bahan seramik termaju seperti alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), silikon nitrida (Si₃N₄), dan zirkonium oksida (ZrO₂). Bahan ini mempunyai ketulenan yang sangat tinggi, rintangan suhu tinggi yang sangat baik, dan sifat elektrik yang stabil.

S2: Bolehkah UET menyediakan spesifikasi tersuai dan rawatan permukaan? 

A2: Ya. UET boleh menyesuaikan saiz, tirus, jenis bahan dan rawatan permukaan kon mengikut keperluan proses anda. Kami mempunyai pengalaman pembuatan yang luas dan boleh memenuhi keperluan aplikasi khusus pelanggan.

S3: Bagaimanakah ketepatan dan kualiti Ion Beam Cones dijamin?

A3: Kami mengguna pakai sistem pengurusan kualiti ISO9001:2015 dan dilengkapi dengan peralatan ujian ketepatan tinggi, termasuk mesin pengukur koordinat, penguji kekasaran permukaan dan spektrometer pendarfluor sinar-X, untuk memastikan setiap kumpulan produk memenuhi piawaian industri yang ketat.

S4: Apakah kitaran penghantaran?

A4: Kitaran penghantaran sampel ialah 4-7 minggu, dan kitaran penghantaran produk kelompok ialah 8-12 minggu. Kitaran khusus bergantung pada kerumitan produk dan kuantiti pesanan.